英?礨L3000flex 吸槍式檢漏儀是利用合成氣體(95% 氮?dú)馀c 5% 氫氣)檢測泄漏的設(shè)備,測量精度與使用氦氣時(shí)一樣,兩種測試氣體均能達(dá)到 1 ? 10-7 mbar l/s 的極低可檢測泄漏率。 XL3000flex 具有靈活性,用戶可選用在較低成本下容易獲取的測試氣體。另外,XL3000flex 還采用 INFICON 高流量技術(shù):該設(shè)備可在 3000 sccm 的氣體流量下工作,這是時(shí)下市場上可購得的氣體流速高的產(chǎn)品。
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